三次元坐標測量機三軸導軌均采用花崗巖,因而三軸具有相同的溫度特性,剛性及溫度穩定性更高.高精度高氣膜剛性的紅寶石自潔式氣浮軸承使導軌永無磨損.良好的抗時效變形能力,使幾何精度長期保持穩定.工作臺具有開敞的工作空間,裝夾工件及測量觀察都異常方便.氣動系統,傳動及驅動系統,控制系統均采用世界產品.
三次元坐標測量機提高測量效率.微型零件在工業中的應用正在成幾何量級的增長,繁重的測量任務以及*在線測量的生產模式都需要率的測量手段。隨著計算機等硬件能力的提升以及圖像處理算法的不斷優化，都將提高影像測量儀系統的效率.實現微型零件由點測量模式向整體測量模式過渡。現有的影像測量儀技術受測量精度的制約，基本都是對微型零件中關鍵特征區域進行成像，從而實現關鍵特征點的測量，而難以對整個輪廓或整體特征點進行測量。
三次元坐標測量機主機機械系統（X、Y、Z三軸或其它）,測頭系統,電氣控制硬件系統.數據處理軟件系統（測量軟件）；正向工程：產品設計-->制造-->檢驗（三次元測量儀）.三次元坐標測量機運動方式,一般區分為滾珠線性滑軌及氣浮滑軌兩種，滾珠線性滑軌的干涉及變形較大，比較少使用在大型機臺,現今的主流為氣浮滑軌,其原理為壓縮空氣在空氣軸承與軌道間形成一個幾微米 ( um ) 低摩擦力及低阻力的空氣層，也就是說空氣軸承會浮在軌道上，這時便可輕易移動.傳動方式分手動,馬達傳動兩種.一般有三種機型區分,手動量測,直接拉著Z軸或人工旋轉手輪來移動.電控量測,移動軸安裝馬達,利用搖桿或電子手輪來控制移動.CNC ( DCC) 自動量測,移動軸均安裝伺服馬達,并利用電控系統,在程式指令下可自動量測.
